URE-2000A 型紫外单面光刻机
1．技术参数
。曝光面积：150mmX150mm
。曝光波长：365nm
。分辨力：0.8-1μm（胶厚 2 μm 的正胶）
。对准精度：±0. 6μm
。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。样片尺寸：直径Ф15mm-- Ф150mm（各种不规则片），厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
。曝光方式：定时（计时方式倒计），0.1s-9999s
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
。照明不均匀性： 2.5%（Ф100mm 范围）5%（Ф150mm 范围）
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍12
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接口
。掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。胶厚：500μm(SU8 胶)
。光源平行性：1.2°
。曝光能量密度：>18mW/cm2
。冷却方式：循环水+风冷
。曝光面温度：<30°C
。汞灯功率：1000W（直流，进口
2．外形尺寸：1400mm（长）x1200mm(宽)x1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
。冷光椭球镜
。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗，长寿命型)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
。循环水冷系统
（2）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，自动调
。承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
。掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
。基片抽拉式上下片机构
（3）对准显微镜
。光源（配备品 2 只）、电源
。双目双视场对准显微镜主体13
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
（4）CCD 对准系统(选配)
。光源（配备品 3 只）、电源
。成像光学系统（两套）
。数据采集卡
。三维工件台（两套）
。CCD（2 只）
（5）电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统及液晶显示器
（6）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（7）其他附件
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台（静音泵）
。管道
