深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:四川
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  • 详细介绍:


    URE-2000/600 紫外单面光刻机

    1、设备主要技术指标:

    (1)光束口径: 650mm×650mm

    (2)有效曝光面积:600mm×600mm

    (3)分辨力:≤3μm

    (4)对准精度: ±1.5μm

    (5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调

    (6)掩模尺寸:650mm×650mm

    (7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm,厚度为 0.2mm~20mm 的多种规格样片;

    (8)光源不均匀性:≥ 95%(Ф600mm)

    (9)掩模相对于样片运动行程:X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z:15mm Thelta: ± 10o

    (10)曝光面光强:>15mW/cm2(i、g、h 线)

    (11)汞灯功率:2500W(直流)

    (12)曝光量设定方式:定时(计时方式 0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s)

    2.技术主要组成部分

    大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由:高均匀照明曝光系统、对准工件台系统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置

    如下:

    (1)高均匀照明系统包括:

    。 冷光椭球镜;

    。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

    。XYZ 汞灯调节台;

    。 光学系统:椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 2、蝇眼透镜组、抛物面冷光反射镜;

    。 冷却风扇;

    。 循环水冷系统。

    (2)对准工件台系统包括:

    。掩模样片相对运动台;

    。 转动台;

    。 样片调平机构,自动完成;

    。样片调焦机构,自动调整;

    。承片台 10 个:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm×600mm;

    。 掩模夹 1 个:650mm×650mm;

    。 抽拉式上下片机构。

    (3)CCD 对准系统包括:

    。 光源、电源;

    。 显微镜工作台;

    。 成像光学系统(两套);

    。 数据采集卡;

    。 CCD 图像处理部件(两套)。

    (4)电控系统包括:

    。 大功率汞灯触发电源;

    。单片机控制系统;

    。 薄膜开关面板;

    。 控制柜桌;

    (5)气动系统包括:

    。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等;

    3 。电磁阀驱动部件;

    。 气动显示仪表。

    (6)其他配套附件

    。 真空泵一台(无油泵、SK-65C 型);

    。 空压机一台(静音型、YB-W30 型);

    。水冷机一台(H35W 型);

    。 配套接口管道

    3.相关技术资料:

    。设备使用及维护说明书

    。出厂检验合格证。