深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:四川
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  • 详细介绍:


    DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机

    1.技术特征

    。采用 DMD 作为数字掩模,像素数 1024×768

    。采用 14 倍缩小投影光刻物镜成像。

    。采用**技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。

    。具备对准功能

    。采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接,可适应 100mm?100mm 基片。

    。采用 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。

    2.技术参数

    。光源:350W 球形汞灯(曝光谱线: i 线)或紫外LED;

    。照明不均匀性:2%;

    。物镜倍率:14 倍

    。曝光场面积:1mm×0.75mm

    。光刻分辨力:1 μm

    。工件台运动范围:X:100mm、 Y:100mm;

    。工件台运动定位精度:±0.65μm;

    。调焦台运动灵敏度:1μm;

    。对准精度:±2μm;

    。调焦台运动行程:6mm

    。检焦:CCD 检测,检测精度 2 微米

    。转动台行程:±6°以上

    。基片尺寸

    。外径: 。1mm—100mm,厚度:0.1mm--5mm

    3.外形尺寸:840mm(长)x450mm(宽) x830mm(高)

    4.配置

    (1)照明系统

    。350W 直流汞灯(或 LED)、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm 滤光片、气动快门、DMD(美国德州仪器)、冷却风扇。

    。投影物镜:缩小倍率 14 倍

    。分辨力 1μm

    (2)工件台系统

    。X 台:电机驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅(美国)

    。Y 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠(日本 NSK)、导轨 2(日本 THK)、光栅 2(美国)

    。转动台:电机及驱动器(日本乐孜),转动轴系

    。Z 台:电机及驱动器(日本乐孜)、丝杠、上升导向机构

    。承片台:4 英寸(可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等)

    (3)检焦系统

    。焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件

    (4)对准系统

    。对准光学检测系统、CCD、对准软件

    (5)电控系统

    。汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器(19 英寸液晶)、接口

    (6)气动系统

    。电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表

    (7)其他附件

    。真空泵一台(无油泵)

    。空压机一台(静音泵)

    。管道