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URE-2000B 型紫外单面光刻机
1.技术参数
。曝光面积:100mmX100mm
。曝光波长:365nm
。分辨力:0.8μm(胶厚 2μm 的正胶)
。对准精度:± 0.6μm
。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:直径 ± 15mm--± 100mm(各种不规则片)
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
。照明不均匀性: 2.5%(±100mm 范围)
。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学**倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍物镜 3 对:4 倍、10 倍、20 倍; 目镜 3 对:10 倍、16 倍、20 倍
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口15
。掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度
。**焦厚:600μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行度:1.2o
。曝光能量密度:>20mW/cm
。汞灯功率:1000W(直流,进口)
2.外形尺寸:1400mm(长)?1200mm(宽) ?1950mm(高)
3.配置
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(109 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片自动调焦机构
。承片台 4 个(?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸)
。掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
。基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜及 CCD 对准系统
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD
。21 英寸液晶显示器
(4)电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)16
。单片机控制系统
。控制柜桌
(5)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪
(6)其他附件
。真空泵一台(无油泵)
。空压机一台(静音泵)
。管道