深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:美国
    在线咨询
  • 详细介绍:


    OAI UV Led 光源-对准和均匀,适用于高要求的光刻应用。

    BENEFIT 好处
    Low Cost 低成本
    Long Life 寿命长
    Energy Efficient 高效率能源
    Low Power Usage 低功率使用
    No maintenance costs or lamp changes 没有维护费用或更换灯管
    No Mercury. 没有汞
    OPTIONS 选项
    Free standing or can be integrated into any OAI 独立或可集成到任何OAI
    lithography system 光刻系统
    Variety of tooling modules available 可提供多种模具模块
    Height adjustable LS stand available 高度可调的LS站
    Single or multiple wavelength 单波长或多波长
    FEATURES 特性
    Beam size 4” to 12” sg. 尺寸为4 "到12 " sg
    Wave length 365um, 405um or dual wave length 波长365um, 405um或双波长
    Dual Wave Length Tuning available 可进行双波长调协
    Beam uniformity better than +/- 4% 光束均匀性优于+/- 4%
    Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束强度可达~25mW/cm2
    Easy to use touch screen interface 易于使用的触摸屏界面
    Collimation angle <= 2 degrees 准直角< <= 2度
    Dose control and timed exposure 剂量控制和定时曝光
    USB remote interface for PC control USB远程接口的PC控制
    Long working 长时间的工作

    Tooling Module

    Using UV Led Light

    Source: 0.5um

    Lines and Space