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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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德Zeiss Sigma SEM电子束直写仪

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德国Raith高分辨电子束曝光机150 Two

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产地：德国
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德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

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瑞典Mycronic光刻机Prexision-800

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瑞士Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor

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英国Durham小型台式无掩膜光刻机Microwriter ML3

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英国Nanobean NB5电子束光刻机

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日本JEOL圆形电子束光刻机JBX-8100FS

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日本JEOL电子束光刻机JBX-3050MV

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日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV

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