深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC,HBO 300W/S
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德Zeiss Sigma SEM电子束直写仪
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德国Raith高分辨电子束曝光机150 Two
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德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100
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瑞典Mycronic光刻机Prexision-800
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瑞士Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor
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英国Durham小型台式无掩膜光刻机Microwriter ML3
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