Kimball MCF600-SphPent-F2C5 6'' 球形六边形真空腔 真空腔，真空室，小型真空腔，真空腔体，超高真空腔，多孔真空腔，真空系统

UHV真空室

（2）6.00“ CF和（5）2.75” CF

抓斗槽，用于所有端口上的内部安装

球形内径：4.80“（180.34mm）

内部容积：52.5 cu。in （861 cc）