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四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。
硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
金属元素及其他元素含量 | (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.1 |
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.3 | |
镓(Ga)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
锑(Sb)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
铟(In)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
钙(Ca)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铬(Cr)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铁(Fe)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钾(K)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钠(Na)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
镍(Ni)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钼(Mo)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
锰(Mn) 含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铜(Cu)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
镉(Cd) 含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钴(Co)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
锌(Zn)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钒(V)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 |