曦合超导提供的探针平台在半导体-MEMS-超导材料探测等领域是重要的高科技科研设备，有着不可替代的重要作用。

通过微米级别的探针头和光学显微镜，可实现在材料介观水平提供低温物理电学测试、微波探测及可视化成像等功能。

在整个温度范围内的IV和CV曲线测试、微波测试、光电测试、表征变磁环境下的磁输运特性、理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。

该设备提供了一个可以引入电学、光学及微波信号的低温、真空、带磁场的环境，由探针臂引入信号、由闭循环制冷机实现低温制冷、由真空杜瓦提供真空环境、由超导磁体提供高强度磁场。

• 超导磁体技术：闭循环垂直磁场超导磁体探针台实现达到6T的磁场，通过自主搭建的电磁-机械-传热多物理场耦合下的优化设计算法，实现了低损耗-高稳定性的紧凑结构超导磁体系统设计与制备。

• 快降温高传导的制冷技术：采用双级G-M制冷机冷却的低温系统，对结构材料进行热物性测试，并应用于系统中的热传导结构和热沉结构；使用热开关技术实现4 K温区的快速降温。

• 热开关技术：采用低温热开关技术实现了样品台温度的快速调控

  
   技术参数

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  图 低温探针平台产品效果图

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半导体晶圆、凝聚态物理、光电测试、超导材料、纳米电子学、磁性&自旋电子学、有机&分子电子学、量子器件、微波电子学、低噪音射频、铁电体薄膜、低温电子学。