仪器应用

l 空分工艺；

l 氩气纯化工厂；

l 氦液化工厂；

l 特气实验室；

l 半导体生产制造业

仪器特点：

l 纯氩或纯氦中的微量氮分析

l 稳定，灵敏的等离子检测器

l 固态质量流量传感控制器

l 三个量程可自由选择

l 低维护，持续测量准确可靠

仪器特点：

l 被测组分：N2；

l 测量原理：等离子法（PED）；

l 测量范围：0-1ppm/10ppm/100ppm；

l 重复性：<1%量程；

l 精度：<1%量程；

l 漂移：<1%量程/24小时；

l 数字输出：1路系统状态，3路量程，1路校准；

l 输出：4-20mA独立输出；

l 显示：TFT智能触摸液晶显示屏；

l 样气压力：10-25 PSIG；

l 串行通讯：RS232，RS485，Profibus