MicronX型荧光测厚仪是一种专门应用于半导体材料和电子器件领域的检测设备。

检测区域为50m~500um. 通过CCD 可放大图像达300倍。通过高精密度样品台可提供元素面分布图。

可对多达7层的涂层或镀层进行逐层厚度测量。