SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，综合UHV / SIMS 设备，进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。

·整合的离子源，便于RGA和SNMS

·各类型样品的快速转向

·阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪

·整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析·绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和·液氮冷井和真空室烘烤加热器·自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表，使SIMS性能**

·Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测限至ppb级

·基本的激发源选择：带差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液态镓枪·快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器·4 轴：X， Y， Z， θ UHV 操纵器，以**定位样品·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，进行SIMS元素成像·静态SIMS谱图库可用