北京燕京电子有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:美国
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  • 详细介绍:


    特点

    ·易于安装

    ·基于视窗结构的软件,很容易操作

    ·先进的光学设计,以确保能发挥出**的系统性能

    ·基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量

    ·独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定

    ·有四种方法来调整光的强度:

    § 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小

    § 在光输出滤光槽内调整滤光片来调整

    § 调整光束大小

    § 通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间

    ·*多可测量5层的薄膜厚度和折射率

    ·在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输和吸收光谱等一些参数

    ·能够用于实时或在线的厚度折射率测量

    ·系统配备大量的光学常数数据及数据库

    ·对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA测量分析;

    ·可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。

    ·通过模式和特性结构直接测量

    ·能够应用于不同类型、不同厚度的基片测

    ·提供的各种配件可用于特殊结构的测量通过曲线表面进行纵长测量。

    ·2D3D图形输出和友好的用户数据管理界面

    系统配置:

    · 型号:SR500R

    ·双探测器:对于紫外可见光用CCD,对于近红外使用InGaAs探测器

    · 光源:氘和卤素灯

    ·光传送方式:光纤

    ·台架平台特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm大小

    · 软件:TFProbe 2.2版本的软件

    · 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连

    · 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率

    · 电脑硬件要求P3以上、*低50 MB的空间

    ·电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

    · 保修:一年的整机及零备件保修

    规格:

    · 波长范围:250nm到1700 nm

    · 光斑尺寸:500μm至5mm

    · 样品尺寸:200mmx200mm或直径200mm

    · 基板尺寸:*多可至50毫米厚

    · 测量厚度范围*:2nm?150μm

    · 测量时间:*快2毫秒

    ·*优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较

    · 重复性误差*小于1A

    应用:

    · 半导体制造(PROxide, Nitride..)

    · 液晶显示(ITOPRCell gap... ..

    · 医学,生物薄膜及材料领域等

    · 油墨,矿物学,颜料,调色剂等

    · 医药设备

    · 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

    · 半导体化合物

    · MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

    · 非晶体,纳米材料和结晶硅