产品简介：

• 基于视窗结构的软件，很容易操作

• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出好的性能及长的正常运行时间

• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计

• 在很小的尺寸范围内，多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率

• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数

• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率

• 系统配备大量的光学常数数据及数据库

• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析

• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体

• 能够应用于不同类型、不同厚度(zui厚可测200mm)的基片测量

• 使用深紫外光测量的薄膜厚度zui低可至20 ?

• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面

• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量

• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用

系统配置：

• 型号：MSP100RTM

• 探测器：2048像素的CCD阵列

• 光源：高功率的深紫外－可见光光源

• 光传送方式：光纤

• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制

• 物镜有着长焦点距离:4×，10×，15×(DUV)，50×

• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

• 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数

• 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器

• 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A

• 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)

• 重量：120磅总重

• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数：

• 波长范围：250nm到1000 nm

• 波长分辨率: 1nm

• 光斑尺寸：100µm (4x)， 40µm (10x)， 30µm (15x)， 8µm (50x)

• 基片尺寸：zui多可至20mm厚

• 测量厚度范围: 20Å 到25 µm

• 测量时间：zui快2毫秒

• 精度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

• 重复性误差*：小于2 ?

应用领域：

• 半导体制造（PR，Oxide， Nitride..)

• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）

• 医学，生物薄膜及材料领域等

• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

• 医药及医药中间设备等

• 光学涂层，TiO2， SiO2， Ta2O5... ..

• 半导体化合物

• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项：

• 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围

• 高功率的深紫外光?用于小斑点测量

• 可根据客户的特殊需求来定制

• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷

• 可选择的平台尺寸zui多可测量300??mm大小尺寸的样品

• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

• 各种滤光片可供各种特殊的需求

• 可添加应用于荧光测量的附件

• 可添加用于拉曼应用的附件

• 可添加用于偏光应用的附件