世友创业(北京)科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:北京
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  • 详细介绍:


    ETD-2000型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备。

    适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。

    特点:

    1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;

    2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获得**镀膜效果;

    3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;

    4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用;

    5. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。

    型号

    ETD-2000

    主机规格

    L360mm*W300mm*H380mm

    靶(上部电极)

    金:直径:50mm,厚度:0.1mm

    真空样品室

    直径:160mm,高:120mm

    溅射面积

    Ф50mm

    真空指示表

    **真空度:≤ 4X10-2 mbar

    离子电流表

    **电流:50mA(100mA)

    定时器

    *长时间:3600S

    微型真空气阀

    可连接φ3mm软管

    可通入气体

    多种

    **电压

    -1600 DCV

    机械泵

    2L/S