日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累，研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元，

整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.

BEB Power Generator(电子枪电源)

1不需用冷却水冷却.

采用强制空冷方式，不需要冷却水.

2高可靠性

通过安装的整机设备后实际使用效果反馈总结.

3高速异常放电遮断重启功能.

采用半导体控制开关.针对异常放电，具有快速遮断，重启，.

起到保护电源的功能.可并保证蒸发工艺维持稳定而高速.

用途:

金属膜，LED电极，配线膜等真空蒸镀.

光学膜TiO2，ZrO2，Ta2O5，防反射膜，绝缘膜，功能膜SiOx，阻隔膜SiN，栅介质AL2O3，

透明导电ITO，ZnO膜的真空蒸镀..

参数:

型号HPS-600NHPS-1000N

相数，频率三相 50/60Hz〃

输输入电压AC200～220V〃

入变动范围AC190～231V〃

规输入一源9.0kVA以下14.0kVA以下

格容量两源10.0kVA以下15.0kVA以下

漏溢电流各相5mA以内〃

额定输一源6kW10kW

出电力两源6kW(两源合计)10kW(两源合计)

输高压可调范围-2kV～-6kV-4kV～-10kV

出输出稳定率±1%以内〃

规电压脉动率±2%p-p以内(在各个额定输出)

格Beam可调范围0～1000mA0～1000mA

电流变动率±2%以内(在各个额定输出)

灯丝用电压0～6V/12VAC〃

输出电流0A～45Amax〃

高压动作方式半导体元件开关方式

闪断高压闪断时间1ms以内(机械性断路约1秒断高压)

保护休止时间10ms以内〃

高压启动时间1ms以内(额定20%至80%)

冷却方式强制风冷.〃

外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH

上记尺寸不含按键，接口等突起部份

重量115kg120kg