采用微应变片传感器,实现优异的重复性和精确的3D轮廓测量,即使配用长测针时也不例外。传感器技术提供亚微米级的重复性,并且消除了机械式测头存在的各向异性问题。测头采用成熟的ASIC电子元件,确保了在数百万次触发中的可靠操作。TP200系统组件包括:
• TP200测针模块 — 选择固定超程测力:SF(标准测力)或LF(低测力)
• PI 200测头接口
• SCR200测针交换架