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DSR300系列微纳器件光谱响应度测试系统是一款专用于低微材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm探测光斑，实现百微米级探测器的*对光谱祥响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是微纳器件研究的优选。
功能：
? 光谱响应度
? 外量子效率
? 单色光/变功率IV；
? 不同辐照度IT曲线（分辨率200ms）
? 不同偏压下的IT曲线
? LBIC，Mapping
? 线性度测试
? 响应速率测试
微纳器件光谱响应度测试系统主要技术参数
显微镜头 | 标配：10倍超长工作距离物镜， 工作距离大于17mm NA值：0.42 光谱范围：350-800nm 选配： 1，50倍超长工作距离消色差物镜， 工作距离大于17mm NA值：0.42 光谱范围：480-1800nm 2，15倍紫外物镜， 工作距离大于8.5mm NA值：0.32 光谱范围：250-700nm 3，50倍超长工作距离紫外物镜， 工作距离大于12mm NA值：0.42 光谱范围：240-500nm 4，40倍反射式长工作距离 工作距离大于7.8mm NA值：0.5 光谱范围：200nm-20um 光斑中心空心 |
光源 | 选配光源 1、半导体激光器 波长：405nm，532nm，633nm，808nm，980nm可选 不稳定性：＜1% 2、皮秒脉冲激光器 波长：375nm，405nm，488nm，785nm，976nm可选 脉宽：100ps 频率：1-20M Hz 3、氙灯光源 光谱范围：250nm-1800nm 不稳定性：＜1% 4、超连续白光激光光源 光谱范围：400-2400nm 频率：0.01MHz-200MHz 脉宽：100ps |
光谱仪 | 焦距：300mm； 相对孔径：f/3.9； 光学结构：C-T； 光谱仪分辨率：0.1nm； 倒线色散：2.7nm； 波长准确度：±0.2nm 波长重复性：±0.1nm 扫描步距：0.005nm 狭缝规格：圆孔抽拉式固定狭缝，孔径：0.2mm，0.5mm，1mm，1.5mm，2mm，2.5mm，3mm； 三光栅塔台； 光栅配置：1-120-300、1-060-500、1-030-1250，光栅尺寸：68×68mm 6档自动滤光片轮，光谱范围200-2000nm； 内置电动机械快门，软件控制快门开关； 杂散光抑制比：10-5 |
探针台配置 | 4个探针座，配20/10微米针尖探针 2米三同轴电缆，漏电流小于1pA。 真空吸附样品台。 探针座：ＸＹＺ方向12ｍｍ调节行程，0.75uｍ调节分辨率， 0-30°调节探针角度。 |
LBIC Maapping | XY方向行程50mm，分辨率5um。 |
数釆 | v 锁相放大器 斩波频率：20Hz~1KHz； 频率6位显示，2.4英寸屏，320×240液晶显示； 电压输入模式：单端输入或差分输入； 电压、电流两种输入模式； 满量程灵敏度：1nV至1V； 电流输入增益：106或108V/A； 动态储备：＞100dB； 时间常数范围：10μs至3ks； v keithley2612B 量程：100nA/1A *小信号：1nA 本地噪音：100pa 分辨率：100fa 通道数：2 v keithley2636B 量程：1nA/1A *小信号：10pA 本地噪音：1pa 分辨率：10fa 通道数：2 |
制冷样品台 | 温度范围：-196℃-600℃，（-196℃需要选择专用冷却系统） 全程温度精度/温度性：0.1℃/＜0.01℃ 光孔直径：2.4mm 样品区域面积：直径22mm 两个样品探针，1个LEMO接头（可增加至1探针） 工作距离：4.5-12.5mm 气密样品腔室，可充入保护性气体 独立温度控制 |
响应速率测试 | 示波器型号：MDO32 模拟带宽100MHz 采样率5GS/s 记录长度10M 时间范围：uS-S，需要配合调制激光器使用 时间范围：10nS-S，需要配合皮秒脉冲激光器使用 |
三维可调高稳定探针台结构，方便样品位置调节。
内置三路半导体激光器或者两路光纤激光器，外置一路激光光路。
可以引入可调单色光源，进行全光谱范围的光谱响应度测试。
测试功能曲线：
40um光斑@550nm@50倍物镜200um光纤 70um光斑@550nm@50倍物镜400um光纤
5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物镜
紫外增强氙灯和EQ99光源的单色光能量曲线，使用40倍反射式物镜，300mm焦距光谱仪，光谱仪使用1200刻线300nm闪耀光栅，光斑直径大小80um。
