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红外气体传感器 Gasboard-2060新品
报价:面议
品牌: 四方仪器
产地: 湖北武汉
关注度: 31
型号: Gasboard-2060
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产品介绍

红外气体传感器.jpg

产品名称:红外气体传感器

产品型号:Gasboard-2060


红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。


红外气体传感器产品特性

  • 使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

  • 响应时间快,高灵敏度

  • 无耗材

  • 模拟/数字通信

  • 模块化设计,便于集成


红外气体传感器技术参数

检测原理NDIR
检测气体SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重复性±0.5%
线性±1%F.S.
检测限1ppm


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四方光电(武汉)仪器有限公司为您提供四方仪器红外气体传感器 Gasboard-2060,红外气体传感器 Gasboard-2060产地为湖北武汉,属于半导体行业专用仪器,除了红外气体传感器 Gasboard-2060的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供四方仪器烟气分析仪(在线型) Gasboard-3000、四方仪器便携型煤气分析仪Gasboard-3100P、四方仪器激光拉曼光谱气体分析仪LRGA-6000。
工商信息
企业名称

四方光电(武汉)仪器有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资)

信用代码

914201005519974097

法人代表

熊友辉

注册地址

武汉东湖新技术开发区关东街道凤凰园一路5号科梦除氨产业基地1栋1-5层

成立日期

2010-04-19复制

注册资本

3000万元人民币

有效期限

2010-04-19 至 2030-04-19

经营范围

一般项目 : 技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;信息系统集成服务;碳减排、碳转化、碳捕捉、碳封存技术研发;石油天然气技术服务;物联网技术研发;机械设备研发;仪器仪表制造;仪器仪表销售;大气污染监测及检测仪器仪表制造;大气污染监测及检测仪器仪表销售;环境监测专用仪器仪表制造;环境监测专用仪器仪表销售;环境保护监测;电子产品销售;电子元器件批发;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;进出口代理。(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)

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