天美仪拓实验室设备(上海)有限公司
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    产品介绍:

    等离子体样品清洗设备Evaction E50主要用于场发射扫描电镜样品和样品室内碳氢化合物、有机物和表面碳污染的清洗。Evaction E50可以安装在电镜交换仓或样品室内,利用等离子体进行清洗,也可以用紫外线进行清洗,无需切换到低真空模式即可使用,射频功率高达50W,清洗效率高。

    主要特点:

    n清洗效率高(射频功率50W

    n等离子体和紫外线双重清洗

    n高真空模式下运行,真空范围大

    n无损清洗

    n无需特殊气源

    n兼容SEMFIB等设备

    操作方式

    桌面按钮控制

    远程遥控

    支持安卓平板电脑或蓝牙控制

    尺寸

    44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D)

    射频功率

    20 - 75 W (13.56 MHz RFHC)

    电源

    100 – 240 VAC 50/60 Hz

    标准

    符合RoHS标准