特点

Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪，使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方位。大而宽敞的设计可以容纳长达450毫米和30公斤的重量和样品架。

所有的测量都是自动化的，可以通过用户友好的软件界面进行访问。利用Omega扫描，可以在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只产生一个方向分量。

可以非常精确地确定倾斜角度，使用Theta扫描到0.001°。对于所有其他的晶体方向，精度取决于垂直于表面的角差。

该系统是模块化的，并配备了许多不同的扩展用于特殊目的，如形状或平面的确定，绘图和不同的样品架。样品的倾斜度是通过光学测量来检测的，可以用来校正*终的方向。

单晶衍射仪

Omega扫描图（SiC） 涡轮叶片，一个方向组件的映射图

(Si， Ge)晶圆，定向图 晶格参数映射图

• 全自动单晶完全晶格取向测量

• 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

• 自动摇摆曲线测量

• 衍射仪的角分辨率：0.1弧秒。

• 样本大小可达450毫米

• 适合于生产质量控制和研究

用户友好和成本效益

• 样品处理方便，操作方便

• 先进的，用户友好的软件

• 低能耗，低运营成本

模块化设计和灵活性

• 各种升级选项

• 定制用户的需求

Omega/Theta X射线衍射仪的应用

具有多种几何形状和大小的样品

单晶的工业合成从大而重的晶体开始，到小块如晶圆或坯。实验生长产生微小的圆柱体。

根据材料和产量的不同，晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状。

Omega/Theta X射线衍射仪可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体。

非线性光学材料(NLO)：晶体质量和定向

与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比，NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性。这种结构创造了一个高度各向异性的环境，

光通过晶体，并导致他们的特殊性质。这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒，作为频率倍增器和光学参量振荡器的有源元件。

对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹。

这些材料的大单位晶胞是Omega扫描方法的一个挑战。我们能够确定许多NLO材料，如LBO， BBO和TeO2的Omega扫描参数的*重要的方向。

对Omega/Theta的设计进行了一些特殊的修改，以涵盖几种不同材料的NLO能力。

平面方向的标记和测量

Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。

在晶圆片的注入和光刻过程中，平面或凹槽作为定位标记。经过加工后，晶圆片携带数百个芯片，需要通过切割将其分离。

晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置，必须测量平面内的部件。

该仪器通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务，例如必须定义平面方向时。

对于高吞吐量应用程序，可提供自动测量解决方案。

摇摆曲线:晶体表面评价

摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合，可以扫描晶体表面并确定缺陷区域。在晶格匹配的薄膜中，

摇摆曲线也可以用来研究层厚、超晶格周期、应变和成分剖面、晶格失配、三元结构和弛豫。

晶圆片表面必须达到非常高的清洁和均匀性标准。制造商正努力使晶体的位错和缺陷尽可能少。特别是在碳化硅方面，消除错位为这种材料提供了新的应用领域。

通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪，可以测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射。图像显示的结果，这种映射的碳化硅晶圆。

晶圆片的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线的FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关。