桌面单点测量

低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。

MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅，用于晶圆片，也可用于晶锭。

结果可视化的标准软件。