台式X射线源

激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。

产品特点

● 低残留

● 高EUV能量（3.5 MJ）

● *低耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）

● 简单目标气体交换

● 桌面系统

产品应用

● 计量：反射测量、吸收

● 光谱学（nexafs）

● 光学/传感器测试

● EUV损坏调查

● 材料相互作用基础研究

● 水窗显微镜（λ=2..4纳米）

技术参数

测试数据展示

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