产品简介

      ELEDE 380系列刻蚀机是LED芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片，倒装芯片，垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料GaN, AlGaInP/GaP)，隔离刻蚀(刻蚀材料GaN,GaAs)SiO_2, SiN_X),SiO₂ 和金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料TiW)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要。