1.充气压力：≤0.05MPa 2.升压率：＜ 4Pa/h 3.炉体：双层水冷结构、304 不锈钢材质。 4.复合真空计测量范围：1.0×10  5 ～1.0×10 5 5.前级机械泵型号：BSV60 抽速：16L/S