HM5-160全自动检测系统

1、高速度、高精度测量系统。 2、**160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。