氮化铝具有良好的热传导性和抗热震性，也有良好的绝缘性。因液相烧结且晶界无第贰相，晶体结构非常致密，具有良好的抗等离子体腐蚀能力。
其主要特性：

• 高热导率

• 热膨胀系数小

• 抗热震性 

• 绝缘性

• 耐等离子体刻蚀性