Showerhead，应用于半导体集成电路制程刻蚀设备中，在晶圆制造刻蚀环节，作为附加电压的电极，还作为是刻蚀气体进入腔体的通路，是晶圆制造刻蚀环节所必需的核心部件。

技术优势

1.原料自制品质可控，具有成熟的加工和清洗技术，可以满足客户不同的表面状态需求。

2. 气孔内壁加工后无破碎层。

3.*小加工孔径为0.2mm。