主机精度及研磨精度：

1．下研盘端面跳动 0.05
2．上、下研磨盘平面度 0.06（只检查下盘）。
3．太阳轮径向跳动： 0.20
4．上、下研磨盘回转中心不重合度 ≤0.5mm.

研磨精度：

1.产品精度: 0-0.002 mmφ

• 2.厚度一致性：0-0.004 mm

• 3.上下面平面度： 0.005 mm

• 4.上下面平行度： 0.006 mm