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品牌: | 翰军 |
产地: | 广东 |
关注度: | 824 |
型号: | 硫化物CVD系统(一体式) |
非金属电热元件:其他
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
温控精度:±1℃
最高温度:1050℃
一、概述
此套系统H-CVD-1200S前端配有可加热到0-1000℃的蒸发器,辅助固体源蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好;真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。整套系统可在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二、设备组成
HTF-1100蒸发器,HTF-1200D双温区管式炉(蒸发器与高温反应区采用一体式)。
三、主要技术参数
蒸发器
| 型号:HTF-1100 工作温度:室温-1000℃ **温度:1050℃ *快升温速率:30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220 V 额定功率:1000W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 加热区长度(mm):150mm |
双温区硫化炉 | 型号:HTF-1200D 技术参数: 额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz **温度(℃):1200(1 hour) 持续工作温度(℃):1100 升温速率(℃/min):≤50 炉管尺寸(mm): 高纯石英管Φ50×1500mm 加热区长度(mm):150/300mm 恒温区长度(mm):100/120mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 |
配件 | 配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,防腐型数显真空计,三路混气系统(可选) |
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上海翰军实验设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
91310114088623834X
肖伟
上海市嘉定区前曹公路557号10幢一层A区
2014-03-25
500万人民币
2014-03-25 至 2044-03-24
一般项目:实验分析仪器销售,光通信设备销售,仪器仪表销售,普通机械设备安装服务,电子、机械设备维护(不含特种设备),仪器仪表修理,技术服务、技术咨询、技术开发、技术交流、技术转让、技术推广,从事电炉、高真空设备和工业自动控制系统装置的生产。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:货物进出口,技术进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)