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品牌: | 翰军 |
产地: | 上海 |
关注度: | 1985 |
型号: | 二硫化钼CVD气相沉积系统 |
非金属电热元件:其他
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
温控精度:±1℃
最高温度:400℃
一、概述
硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计(在1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀),通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二、设备组成
HCVD-1200S双温区管式炉,HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成。
三、主要技术参数
硫粉预热器
| 型号:HTF-400C 工作温度:350℃ **温度:400℃ *快升温速率:30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220 V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝
|
双温区硫化炉 | 型号:HCVD-1200S 技术参数: 额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz **温度(℃):1200(1 hour) 持续工作温度(℃):1100 升温速率(℃/min):≤50 炉管尺寸(mm): 高纯石英管Φ50×1500mm 加热区长度(mm):440mm 恒温区长度(mm):200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 |
供气系统GMF3Z
| 质量流量计 重量:35Kg 外形尺寸:600x600x650mm 连接头类型:双卡套不锈钢接头。 标准量程(N2标定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制) 准确度:±1.5% 线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2% 响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa **压力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 显示:4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管:Φ6 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:Φ6 |
低真空机组VAU-02
| 技术参数: 空气相对湿度≤85%, 工作电电压:220V±10% 50~60HZ 功率:1千瓦 抽气速率:4L\s 极限真空:4X10-2Pa 实验真空度:1.0X10-1Pa 容油量:1.1L 进气口口径:KF25 排气口口径:KF25 转速:1450rpm 噪音:50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空计 |
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上海翰军实验设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
91310114088623834X
肖伟
上海市嘉定区前曹公路557号10幢一层A区
2014-03-25
500万人民币
2014-03-25 至 2044-03-24
一般项目:实验分析仪器销售,光通信设备销售,仪器仪表销售,普通机械设备安装服务,电子、机械设备维护(不含特种设备),仪器仪表修理,技术服务、技术咨询、技术开发、技术交流、技术转让、技术推广,从事电炉、高真空设备和工业自动控制系统装置的生产。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:货物进出口,技术进出口。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)