真空等离子清洗设备由电器控制及操作系统、真空腔室、供气系统、13.56MHz射频电源、真空泵等部分组成。利用等

离子体活泼的物理化学电磁流体特性，可以实现一系列传统湿法外理所不能实现的反应过程和处理效果，具有产生速度

快、能量高、无污染、处理对象广泛、整体成本低、无需干燥处理，占用空间小等特点。

真空等离子清洗设备产品特点:

4射频电源功率选择为0到600W可调，频率选择为13.56MHz，同时采用电源匹配系统来调节负载阻抗，以保证**的等

离子密度和可重复性。

电极板主体由不锈钢材料制成，通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通，电极板由两侧的绝缘块固定在直空腔体

中，整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距，以获得*合适的等离子体。

供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量，同时采用高稳定性的直空泉来实现废气的均衡排放。

+高可靠性和稳定性，高效的功率输出，紧凑的结构设计，体积小，重量轻，完善的保护功能等特点.

◆前设开门，后方开排气孔、电源线孔，侧面开进气孔，以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。

两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。

真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体，耐腐蚀性能好、耐热性强，低温情况下的强度好，冲压弯曲等热加工

性好，无磁性。