型号：美国Tektronix Keithley 4200A-SCS

功能：使用4200A-SCS加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。 **性能参数分析仪，提供同步电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快脉冲(I-V)测量。

技术参数：

﹡直流电流-电压(I-V)范围：10aA-1A，0.2µV-210V

﹡电容-电压(C-V)范围：1kHz-10MHz，±30V 直流偏置