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等离子增强系统
报价:面议
品牌: 原速光电
产地: 深圳
关注度: 1265
型号: 等离子增强系统
核心参数

仪器原理:其他

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产品介绍

设备规格

 

衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定制)
工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制)
前驱体路数:**支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶

加热系统:可加热温度范围:RT~150℃

反应物路数:支持2路反应物气路(可定制)
载气:标准:N2, MFC 流量控制(可定制)

等离子体系统:支持4路等离子体气体(可定制)

射频功率:0~1000W
压力监测:双薄膜规组合(耐腐蚀),0.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系统:标准油泵

控制系统:19寸显示器,支持触控工业级嵌入式工控机,高可靠性,支持扩展
操作系统:Win7 操作系统,工业级可编程逻辑控制器,支持现场总线与实时多任务处理操作

高温加热模块:独立的源瓶加热模块,可支持RT~200℃

 


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深圳市原速光电科技有限公司为您提供原速光电等离子增强系统,等离子增强系统产地为深圳,属于其他测试设备,除了等离子增强系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供手套箱集成系列、热法沉积系统、超高真空系列。
工商信息
企业名称

深圳市原速光电科技有限公司

企业类型

有限责任公司(法人独资)

信用代码

91440300MA5EQL0C6X

法人代表

李哲峰

注册地址

深圳市宝安区西乡街道蚝业社区大铲湾蓝色未来科技园二期2栋1层

成立日期

2017-09-16

注册资本

5000万元人民币

有效期限

2017-09-16 至 无固定期限

经营范围

一般经营项目是:国内贸易;经营进出口业务。半机械设备销售;机械设备租赁;机械设备研发;新材料技术研发;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械零件、零部件销售;国内贸易代理;功能玻璃和新型光学材料销售;电子专用材料研发;新型催化材料及助剂销售;新型陶瓷材料销售;电子专用材料销售;表面功能材料销售;普通机械设备安装服务。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);租赁服务(不含许可类租赁服务)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:专用设备制造(不含许可类专业设备制造);普通机械设备安装服务;通用零部件制造;机械零件、零部件加工;货物进出口;电子专用材料制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);通用零部件制造;机械零件、零部件加工。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准);物业管理。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)

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