在需要无油泵时，滚轴泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速为 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的轴承护罩，将真空环境与润滑剂隔离开，使之不仅干燥， 而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现；这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。

XDS 泵的设计**性，采用轴承屏蔽将真空环境与形式的润滑剂隔离开来，使之不仅干燥，而且密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。

可调气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用为的实验室湿化学应用所选择的材料。

应用

分析仪器

电子扫描显微镜 - SEM

射束线和高能物理

涡轮分子前级泵

速离心机

覆层

低温学

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

凝胶体干燥

实验室工作台上真空

激光、气体回收和再循环

氦检漏仪

负载锁和传输腔

稀有气体再循环

稀有气体回收

冷冻制造

旋转离心蒸发器

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

特点及优势

轴承屏蔽

清洁和干燥的真空

真空空间中没有轴承或油脂

无轴封，无轴承清洗

简单的单侧滚轴设计

更换顶封口仅需 20 分钟

无需工具

气囊位置可选

无气囊泄漏

水蒸汽处理量大

泵产品均经外部机构检验，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 标准

可以轻松地将泵整合到已的系统中，产品按照ISO 9001 标准制造、产品按照 ISO 14001 标准制造

制程环保

参数