碳化硅异型件

• 高强度、高致密度、硬度接近金刚石、耐磨损；

• 优秀的化学稳定性，能抵抗各种酸、碱及有机溶剂类的腐蚀；

• 高导热率、低热膨胀系数、耐热冲击，并且*低热变形；

• 耐高温1600摄氏度以上，具有优秀的抗氧化性能；

• 电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；

• 高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形；

• 全面的耐化学腐蚀能力

• 耐电浆轰击，特别适用于刻蚀设备；

• 低密度、质量轻。