样品室玻璃腔体尺寸

120mm ? x 120mm H，高强度不锈钢结构

样品台尺寸

可放置12个标准钉形样品台，高度可在 30mm内调节

蒸镀源

高纯度碳棒，直径6.15mm

蒸镀控制系统

微处理器控制，远程电流/电压感应；**电流180A，程序化数字控制；

提供真空安全联锁装置，配有过流保护；

模拟计量

真空 Atm - 0.001mb   电流: 0 – 200A

控制方式

自动蒸镀控制；可选择手动操作，也可通过控制数字定时器 (1 – 30秒)及电压设定 (0.1 to 5.5V)实现自动蒸镀控制；自动放气功能；

机械泵

2L/s，25-30s内真空度下降到0.1mb

工作电压

220V, 50/60HZ

膜厚监控仪（选配）

通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，碳厚度可精确到0.1nm

适用配套

Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镜