日立 |
参考报价:电议 型号: FlexSEM1000
产地:日本 在线咨询
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产品介绍
FlexSEM1000 II是日立**的落地式小型钨灯丝扫描电镜,具有体积小、操作简单、性能强、扩展功能丰富等特点。FlexSEM1000 II配备了二次电子探测器和背散射电子探测器,可以观察样品的形貌和成分;同时具有低真空功能,可以直接观察不导电样品和含水样品;配合新增的SEM-MAP光镜导航和5轴样品台可以快速、高效的完成观察任务。
主要特点:
1. 体积小、操作简单、性能强(4nm@20kV)、扩展功能丰富
2. 拥有多个探测器(SE、BSE)
3. 拥有低真空功能,不导电和含水样品直接观察
4. 标配五轴样品台(三轴马达)
5. 可选可变压力探测器UVD,实现高真空光信号(如CL)观察
6. 可选SEM-MAP光镜导航功能
7. 报告导出功能
项目 | 内容 |
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分辨率*3 | 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) |
加速电压 | 0.3 kV~20 kV |
倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) |
低真空设置 | 6~100 Pa |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
样品台 | 3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° **可观察范围:直径64mm(R联用)*4 |
**样品尺寸 | 直径80 mm(选配:直径153mm) |
**样品高度 | 40 mm |
尺寸 | 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm |
选项 |
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软件 | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
应用领域:材料科学 、生命医学 、食品卫生 、半导体电子元器件 、汽车制造