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DM-8000微波等离子体CVD设备
报价:面议
品牌: 和瑞微波
产地: 四川
关注度: 419
型号: DM-8000微波等离子体CVD设备
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产品介绍

> 超洁净级的真空系统

> 全进口的集成化供气系统

> 样品台冷却系统采用Duel-Loop控制

> 自动化的工艺生长控制系统

> 在线视觉检测功能


(1)型号DM-8000
(2)电源AC380 V 三相五线制 50Hz,
(3)微波输出功率8kW ,2450MHz点频
(4)微波泄露≤2mW/cm³@5cm
(5)功率稳定度1 %(@稳态)
(6)有效沉积区域up to Φ 70 mm
(7)样品台直径Φ120 mm
(8)极限真空度≤5 ×1 0-1 P a
(9)真空漏率<1x10-9Pa.m³/s
(10)单晶生长生长速度10-15μm/H,单轮生长厚度≥1.6mm
(11)单晶质量
色度H,肉眼无瑕疵
(12)气体种类标配四路MFC:H2:1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:5sccm;可扩展为5路
(13)压强控制范围5-225 torr
(14)压强控制精度±0 . 1 T o r r
(15)冷却水>65L/Min


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成都纽曼和瑞微波技术有限公司

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9151010874643776XT

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