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HMPS-2120S微波等离子体CVD设备
报价:面议
品牌: 和瑞微波
产地: 四川
关注度: 389
型号: HMPS-2120S微波等离子体CVD设备
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产品介绍

微波功率容量大、功率密度高;

沉积面积大、速率快、质量高;

安全可靠,满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行;

第三代高稳定固态功率源,新型下馈式大容积碟形放电工作腔;

微波功率0.5~12kW连续可调,稳定度1%;

放电区Φ≥100mm;均匀沉积区Φ≥75mm;

工作气体:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

极限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作压力:0.1~30kPa;自动控制;

红外测温:600~1800℃(双色);

PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。


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