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HMPS-2120S微波等离子体CVD设备
报价：面议
| 品牌： | 和瑞微波 |
| 产地： | 四川 |
| 关注度： | 359 |
| 型号： | HMPS-2120S微波等离子体CVD设备 |
产品介绍
微波功率容量大、功率密度高；
◆沉积面积大、速率快、质量高；
◆安全可靠，满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行；
◆第三代高稳定固态功率源，新型下馈式大容积碟形放电工作腔；
◆微波功率0.5~12kW连续可调，稳定度1%；
◆放电区Φ≥100mm；均匀沉积区Φ≥75mm；
◆工作气体：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；
◆极限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s；
◆工作压力：0.1~30kPa；自动控制；
◆红外测温：600~1800℃（双色）；
◆PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。
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工商信息
企业名称
成都纽曼和瑞微波技术有限公司
企业类型
信用代码
9151010874643776XT
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
