◆微波反应腔新型设计，功率密度大。

◆产品沉积速率快、沉积质量高。

◆开关型微波电源，微波输出稳定性高。

◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的沉积，材质表面处理、低温氧化物的生长等。

◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。

◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护。