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HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统

报价：面议

品牌：	和瑞微波
产地：	四川
关注度：	421
型号：	HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统

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产品介绍

◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。

◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。

◆第三代高稳定固态功率源；上馈式圆柱型放电腔；

◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产，材质表面处理、低温氧化物的生长等。

◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。

◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护。

（1）	型号	HMPS-2060SP
（2）	电源	AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜18KVA
（3）	微波输出功率	0.5~6kW 连续可调
（4）	功率稳定度	1%（@稳态）
（5）	纹波	≤1%
（6）	微波频率	2450MHz±50MHz
（7）	测温方式	红外300~1400℃
（8）	极限真空度	6×10-6torr
（9）	腔体内工作压力	7torr~250torr
（10）	样品台	Φ60mm
（11）	样品台轴向调节范围	0-60mm
（12）	工作气氛	五路（可用户定制）
（13）	微波泄漏值	＜5mW/cm2
（14）	工作环境	温度15-40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体
（15）	冷却水	＞37L/Min

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工商信息

企业名称

成都纽曼和瑞微波技术有限公司

企业类型

信用代码

9151010874643776XT

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围