基本特点：
1）高压段抽速快，运转功率低，噪音低。
2）可依制程/环境需求选用水冷（防爆）或气冷（防爆）马达。
3）气冷马达机型可搭配自循环冷却系统，能使用在无冷却水系统的环境
典型应用：
面板TFT-LCD
太阳能
冶金系统
镀膜
电浆制程
干燥处理
制程气体抽取
生技/制药
化工产业
技能参数:
