特别客制球型UHV超高真空腔体, 依客户图稿需求订制
16” 球型客制化UHV超高真空腔体加工
材质:S.S.304
表面处理:电解抛光
规格:16” 球型UHV超高真空腔室
泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作压力<7.5 x10-10 torr
Flange同心度对准 < 0.2゚