HT-RTA59HD高温快速退火系统可以在SiC等高熔点的材料快速加热到1800℃。

仪器特点

1. 可在10s内加热到1800℃；

2. 使用冷墙能快速加热和降温；

3. 使用大功率的红外灯和椭圆形的集中反射炉；

4. 桌面式石英室加热炉；

5. 通过USB连接电脑编辑温控程序；

6. 加热时可通过电脑显示屏实时观察；

应用：

l SiC(GaN)电力设备的氧化膜形成过程的研究和退火；

l 半导体的研究和开发过程；

l 玻璃基板、陶瓷、符合材料的热处理；

l 陶瓷材料的热冲击试验；

l 烧结高熔点金属材料的各种热处理测试；

l 作为温度梯度炉使用；

l 可用作气体分析的加热炉；