硅锭尺寸

840mm×840mm×390mm

生产率

600kg～650kg/炉

生产周期

～70hr,产能～7.5MW/年

**温度

1600℃

常用工作温度

1560℃

硅锭生长速率

1.2-1.4cm/hr

炉内极限真空度

1Pa

系统漏率

<0.0075Pa.m3/s

氩气

～100m3/锭

冷却水

约140L/min

额定加热功率

165kW

每炉加热器功耗

～4000度（投料650kg）

其他能耗

～500度

单位能耗

～7度/kg

铸锭良率

平均大于70%（正常配料）

转换效率

17.4%-17.6%

准单晶生产能力

具备

高效多晶生产能力

具备