产品优势：

高强度和稳定性：碳碳PECVD炉承载板通常由碳材料制成，具有很高的强度和稳定性，能够承受高温和化学反应的影响，保证在整个PECVD过程中的稳定性和可靠性。

良好的热传导性：碳材料的热传导性良好，这有助于在PECVD过程中保持材料的温度一致，从而提高沉积过程的均匀性和效率。

耐腐蚀性：由于碳材料具有很好的耐腐蚀性，因此碳碳PECVD炉承载板可以在各种化学环境下保持稳定，不会因为化学反应而损坏。

使用寿命长：碳碳PECVD炉承载板的使用寿命较长，可以减少更换频率，降低长期运营成本

性能参数：

（无氧环境或惰性气体保护下）