CXF-200/1401磁悬浮分子泵

性能特点/ Features

●高洁净度、免维护、低振动、任意角度安装、更高的前级耐压、集成控制器

●五轴磁悬浮轴承。转速可调、转子运转监控和自动平衡、断电自动保护、温度管理系统

●防腐、低噪声、节能、体积更小重量更轻

应用领域/ Application

硅刻蚀，离子注入，玻璃镀膜，PVD镀膜，科研应用，表面分析，加速器，太阳能，热处理。