近日，江苏省发展和改革委员会发布《2023年江苏省重大项目清单》，“苏州中科科仪半导体核心装备领域专用磁悬浮分子泵”项目成功入选江苏省2023年重大项目名单。

 磁悬浮分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件，为刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体制造关键工艺过程提供所需的高洁净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高，对其生产工艺中的各项装备可靠性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键核心零部件，不仅需满足半导体制造装备的各项工艺技术指标，还需要满足其苛刻的安全性、可靠性要求。

作为半导体装备核心零部件供应商，北京中科科仪股份有限公司凭借在真空行业的领军地位和四十多年的技术积淀，成功研制了中国第一台具有自主知识产权的磁悬浮分子泵，主导制定了中国磁悬浮分子泵行业标准，陆续推出系列磁悬浮分子泵产品，在工业领域取得了广泛应用。同时，中科科仪聚焦半导体行业需求，持续研发推出定制化磁悬浮分子泵产品，助力解决集成电路装备核心零部件“卡脖子”问题。

为贯彻中国科学院“率先行动”计划，落实国科控股“联动创新”纲要，2019年中科科仪在苏州市高新区成立全资子公司苏州中科科仪技术发展有限公司。三年的时间里，苏州科仪面向经济主战场和国家重大需求，以“规模产业化”为核心，“创新驱动、需求牵引、自主可控”为关键，深入实施科技强国战略，对标半导体行业核心零部件制造标准，持续完善生产过程控制体系，对接长三角一体化发展规划，聚焦半导体关键装备核心零部件规模产业化，着力提升科技成果转化能力，在实现半导体制造领域国产化替代方面发挥重要作用。

惟其艰巨，所以伟大；惟其艰巨，更显荣光。面临当前全球新一轮科技革命和产业变革的历史机遇，苏州科仪将继续聚焦解决国家高端科学仪器装备与核心零部件关键领域“卡脖子”问题，发挥强链补链关键作用，全力推动科技成果转化与规模产业化，为强化国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强贡献力量。